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发布时间: 2023-03-09
等离子体视图 | 双向或径向 | ||
波长范围 | 167—847nm | ||
分辨率 @ 200nm | 0.007nm | ||
测量模式 | 同时 | ||
摄像机技术 | 高性能 CID86 | ||
附加气体 | — | 可选 | 标配 |
Sprint 阀 | 否 | 可选 | 标配 |
自动进样器 | 可选 | 可选 | 可选（与 Sprint 阀配套使用） |
拓展通讯接口 | 否 | 否 | 标配（用于激光烧蚀、火花烧蚀） |
占地面积（宽x深x高） | 840x750x590mm | ||
重量 | 85kg | ||
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